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硅片厚度传感器(SIT-200)

硅片厚度传感器(SIT-200)

简要描述:硅片厚度传感器(SIT-200)中与宽带光源不同,SIT-200使用高速扫描可调谐激光器探测被测晶圆。这使得每波长的功率测量更高,从而产生更高的动态范围。

产品型号:

所属分类:光电常用设备

更新时间:2021-03-25

详细说明:

      硅片厚度传感器(SIT-200)中与宽带光源不同,SIT-200使用高速扫描可调谐激光器探测被测晶圆。这使得每波长的功率测量更高,从而产生更高的动态范围。结果,例如在湿蚀刻期间/之后,甚至可以在未抛光的晶圆上执行厚度测量。

      硅片厚度传感器(SIT-200)的主要特点有:

      一、硅片用全光非接触式厚度传感器
      二、能够测量无序表面的高动态范围
      三、能够在湿法腐蚀过程中进行原位测量
      在生活中其常常应用于硅片厚度测量

    硅片厚度传感器(SIT-200)的主要特点有:

      一、硅片用全光非接触式厚度传感器
      二、能够测量无序表面的高动态范围
      三、能够在湿法腐蚀过程中进行原位测量


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